| .主要適用于實驗、科研、醫學及小規模的生產領域。
2.特點：成本低，整機機械、電氣結構簡單、實用，易維護。
3.控制方式：手動或自動控制模式，利用各簡單元器件的巧妙
組合成自動控制體系，各參數調整好后，一鍵完成整個清洗工藝。
4.電源功率、清洗時間、氣體流量、凈化真空度等參數可設置。
5.射頻電源手動匹配（自主研發的全固態晶體管輸出型）
6.浮子精密氣體流量計、針閥等控制工藝氣體流量。
7.清洗完成有提示音
8.反射功率過大報警
9.工藝氣體耗盡報警
10.泵熱過載報警
11.反應倉泄漏報警
12.電極采用高通量等離子結構，牢固可靠易拆卸。
13.反應倉為矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調。
14.真空泵采用雙腔式旋片泵，極限真空度可達2Pa以下，一般采用外置。
15.真空泵可選配液位低報警裝置
小型等離子清洗機主要技術數據及規格：
標準型號
技術配置
QT-12-PSP-
QT-24-PSP
QT-36-PSP
外形尺寸
W700mm×H900mm×D600mm
W700mm×H900mm×D600mm
W700mm×H900mm×D650mm
反應倉
W250mm×H200mm×D300mm
W300mm×H250mm×D320mm
W340mm×H305mm×D350mm
真空腔體材質
不銹鋼加鋁內襯
電極板有效面積
140mm×200mm×4
240mm×220mm×5
280mm×260mm×6
電源功率
0～300W
0～300W
0～600W
電源頻率
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz/40kHz
潔凈真空度
15Pa
15 Pa
1 0Pa
控制系統
半自動控制/全自動控制，繼電器加定時器控制體系
單次處理時間
8-15分鐘
氣體控制
2路精密氣體流量計+針閥+高拋光不銹鋼管路
流量精度
+2sccm
工作壓強
10-90Pa
真空泵系統
德國/國產
德國/國產
德國/日本/國產
參數控制
處理時間、射頻功率、氣體流量可調
所需環境配置
供電環境
AC220V/50Hz8A + 獨立PE線
供氣管路
0.2至0.6MPa，管徑φ6
環境
最高35℃良好換氣通風
濕度
30%～85% |
中國電子商務服務聯盟成員單位 瓊ICP備