1、主要應(yīng)用于LCD、LED、連接器、鍵合前等大規(guī)模生產(chǎn)領(lǐng)域。

 

2、所有元器件及核心部件采用進(jìn)口，保證了整機(jī)的穩(wěn)定性和使用壽命。

 

 3.真空泵采用進(jìn)口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時(shí)間工作的體系， 在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵的維護(hù)成本，泵的各項(xiàng)保護(hù)措施完善，提高了長時(shí)間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內(nèi)置于機(jī)柜內(nèi)部，使機(jī)器緊湊，占地面積小。

 

4.自動(dòng)控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數(shù)、工藝過程實(shí)時(shí)監(jiān)控，并顯示運(yùn)行狀態(tài)、報(bào)警記錄和工藝曲線記錄、工作時(shí)間紀(jì)錄，適合維護(hù)，可以提供工藝參考。

 

5.可存儲(chǔ)50組工藝配方，隨意調(diào)用。

 

6.清洗時(shí)間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設(shè)定可調(diào)。

              

7.工藝參數(shù)受密碼保護(hù)，分級(jí)密碼管理查詢。

               

8.一鍵完成全自動(dòng)工藝，實(shí)時(shí)故障報(bào)警、非法操作提示、清洗結(jié)束提示等。

               

9.自動(dòng)提醒系統(tǒng)維護(hù)、更換真空泵油等，避免機(jī)器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。

               

10.氣體質(zhì)量流量計(jì)采用美國進(jìn)口，由模擬量輸入輸出，量程為0～200sccm可在量 程范圍內(nèi)無級(jí)調(diào)節(jié)，根據(jù)特殊的工藝要求可用PLC對(duì)質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行PID調(diào)節(jié)而實(shí)現(xiàn)真空度的控制。

               

11.根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設(shè)備，油過濾器，過濾返油裝置等,電極結(jié)構(gòu)（專利申請(qǐng)中）的高等離子通量設(shè)計(jì)能很好地提高等離子體的均勻性及穩(wěn)定性。中型等離子處理機(jī)主要技術(shù)數(shù)據(jù)及規(guī)格

 

標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)

 

技術(shù)配置

 QT-48-PSP

 QT-80-PSP

 QT-120-PSP

 

外形尺寸(WHD)

 900mm×1500mm×1000mm

 900mm×1500mm×1000mm

 900mm×1600mm×1000mm

 

反應(yīng)倉尺寸

 W400mm×H300mm×D400mm

 W450mm×H400mm×D450mm

 W450mm×H600mm×D450mm

 

真空腔體材質(zhì)

 不銹鋼加鋁內(nèi)襯

 

電極板有效面積

 320mm×280mm×4

 360mm×340mm×5

 360mm×340mm×6

 

等離子電源

 美國進(jìn)口

 美國進(jìn)口

 美國進(jìn)口

 

電源功率

 0～600W

 0～600W

 0～1000W

 

電源頻率

 13.56MHz

 13.56MHz

 13.56MHz/40kHz

 

極限真空度

 2 Pa

 2 Pa

 3Pa

 

PLC控制系統(tǒng)

 西門子PLC 模擬量控制實(shí)現(xiàn)所有信號(hào)數(shù)據(jù)集成

 

人機(jī)界面

 5.7英寸觸摸屏

 7.1英寸觸摸屏

 10.4英寸觸摸屏

 

MFC

 美國進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制精度達(dá)1sccm

 

工藝氣體流量

 0～100sccm

 0～200sccm

 0～200sccm

 

電磁閥

 日本進(jìn)口、超長時(shí)間低溫工作

 

工作壓強(qiáng)

 10-130Pa

 

不銹鋼氣體管路

 內(nèi)外高精度拋光，氣阻小，流量可高達(dá)100L/min。

 

單次處理時(shí)間

 10-15分鐘

 

真空泵系統(tǒng)

 德國

 德國

 德國/日本

 

參數(shù)功能

 配方控制，處理時(shí)間、射頻功率、氣體流量設(shè)定可調(diào)

 

所需環(huán)境配置

 

電：AC380V/50Hz  3P，5W RE

 15 A

 20 A

 25 A

 

供氣管路

 0.2至0.6MPa，管徑φ6

 

環(huán)境

 最高28℃良好換氣通風(fēng)

 

濕度

 30%～85%

 

選配功能

 

腔體及電極

 可據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)

 

電源功率

 500-2000w之間選配

 

質(zhì)量流量計(jì)

 流量量程及路數(shù)可增減

 

干泵

 可據(jù)客戶要求配置

 

尾氣處理器

 可選配

 

過濾返油裝置

 可選配

 

油泵低液位報(bào)警

 可選配