應(yīng)用對象包括：刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統(tǒng)，也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源
單頻射頻電源 、雙頻射頻電源 、 直流電源 、ESC靜電卡盤電源 、自動調(diào)諧匹配網(wǎng)絡(luò)。
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維修AE(Advanced Energy) AE電源 DC直流系列 全亞州所有美國AE電源集往廣州高技杰電源維修中心 Advanced Energy RF高頻電鍍電源

高技杰電氣維修德國 SINGULUS 濺鍍電源、美國 MKS/ENI 濺鍍電源、ADVANCED ENERGY 美國 AE 濺鍍電源、RF 射 頻電源、DC 直流電源、AC 交流電源。更專業(yè)的技術(shù)，更迅速的響應(yīng)高速增長的等離子體薄膜制造工藝之尖端電源的維修。

全亞洲所有 AE( Advanced Energy) 集行廣州高技杰AE電源的維修中心 ENI ENI電源維修（ MKS ）等國際品牌 RF 射頻電源及直流電源.

高技杰電氣同時為各地區(qū)的半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、光電子、真空鍍膜、真空濺鍍、研究所等行業(yè)提供專家級射頻電源維修保養(yǎng)。為ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護(hù)服務(wù)。

ADVANCED ENERGY MDX-10K-MASTER 2225-037-A
ADVANCED ENERGY MDX13
ADVANCED ENERGY MDX-MASTER 2225-000
ADVANCED ENERGY MDX SLAVE 2221-005-N
ADVANCED ENERGY 3152225-048A
ADVANCED ENERGY 2221-005-P
ADVANCED ENERGY 2225-009-W
ADVANCED ENERGY 2221-012-A
ADVANCED ENERGY AE05722B 2300 RFG 5500 NOVELLUS CONTROL
ADVANCED ENERGY SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VS  E'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
AC( 交流 / 中頻系列 ) ：
PE: PE 1000,PE 2500,PE 3750,PE 5000,PE-10K,P E-20K,PE-30K,PE-1000SG PE II PE II 5KW,PE II 10KW,PE II 60KW
PDX ：PDX 500,PDX 900-2V,PDX 1250,PDX 1400,PDX 2500,PDX 5000,PDX 7.5K,PDX 8000,PDZ 2200,MSD 350W
PDW 600,PDW 2200 ； PDP 2500,PDP 3500 ； PEP 250,PEP 2500,PEP 5000
Dressler LFGS:LFGS 1250A,LFGS:LFGS 1250B,LFGS:LFGS 1250C,LFGS:LFGS 1250D