我國“十五”國家863重大專項(xiàng)——100納米刻蝕機(jī)與離子注入機(jī)設(shè)備9月底研發(fā)成功后，已經(jīng)產(chǎn)生了經(jīng)濟(jì)效益。昨天上午，該項(xiàng)目的科研負(fù)責(zé)人透露，中芯國際公司已經(jīng)簽訂了刻蝕機(jī)和離子注入機(jī)的批量采購合同，合同總價(jià)值超過1億元。據(jù)悉，此次買賣雙方簽約，是我國國產(chǎn)主流集成電路制造專用核心設(shè)備第一次實(shí)現(xiàn)批量銷售，標(biāo)志著我國集成電路制造核心裝備研發(fā)取得了重大突破，在產(chǎn)業(yè)化上邁出可喜的第一步。


困局

西方國家封鎖技術(shù)垂涎中國市場

集成電路裝備業(yè)是高技術(shù)裝備產(chǎn)業(yè)的典型代表。我國集成電路制造業(yè)的蓬勃發(fā)展為集成電路制造裝備帶來了巨大的市場空間。據(jù)預(yù)測，到2010年，我國集成電路產(chǎn)業(yè)投資累計(jì)將達(dá)到3500億元，其中大部分將用于集成電路制造裝備投資。這一趨勢使得中國市場成為全球集成電路制造裝備業(yè)爭奪的焦點(diǎn)。

中國電子科技集團(tuán)公司第48研究所所長唐景庭介紹說，集成電路制造專用設(shè)備是集成電路產(chǎn)業(yè)的核心，是衡量一個國家和地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)水平的標(biāo)志。西方發(fā)達(dá)國家掌握了集成電路設(shè)備技術(shù)的制高點(diǎn)，同時對我國實(shí)施技術(shù)封鎖和禁運(yùn)。“九五”末期，我國集成電路裝備的水平為6英寸0.5微米，這也是實(shí)驗(yàn)室狀態(tài)下的技術(shù)水平，與當(dāng)時國外領(lǐng)先的8英寸100納米生產(chǎn)水平相差5個技術(shù)代，國內(nèi)所有8英寸以上生產(chǎn)線沒有一臺國產(chǎn)設(shè)備。

創(chuàng)新

3年走完發(fā)達(dá)國家15年的研發(fā)歷程

據(jù)介紹，集成電路制造裝備的核心設(shè)備大約有20多件，其中，芯片制造六大裝備中的等離子刻蝕機(jī)與大角度離子注入機(jī)是其中核心的核心。

2001年4月，國務(wù)院批準(zhǔn)科技部把超大規(guī)模集成電路制造裝備列為重點(diǎn)研究內(nèi)容。2002年11月，科技部同意北京市政府啟動“100納米高密度等離子刻蝕機(jī)與大角度離子注入機(jī)”項(xiàng)目。在原北京市經(jīng)委的積極組織協(xié)調(diào)下，北京電子控股公司聯(lián)合清華大學(xué)、北京大學(xué)、中科院、七星集團(tuán)等股東組建北方微電子公司，承擔(dān)等離子刻蝕機(jī)的研發(fā)任務(wù)。中國電子科技集團(tuán)聯(lián)合48所、45所組建北京中科信電子裝備公司，承擔(dān)離子注入機(jī)的研發(fā)任務(wù)。本項(xiàng)目總投資5億元人民幣，由國家、地方、企業(yè)三方共同投資。

這兩種設(shè)備的研制成功，實(shí)現(xiàn)了我國高端集成電路核心設(shè)備零的突破，技術(shù)水平跨越5代。國外離子注入機(jī)技術(shù)發(fā)展，從500納米跨越到100納米大角度用了10至15年，而我國僅僅用了3年的時間。3年，在1100多個日日夜夜里，依靠一群平均年齡不到35歲的技術(shù)骨干，走完了發(fā)達(dá)國家15年才完成的研發(fā)歷程。

變化

北京成為我國集成電路裝備制造業(yè)龍頭

在此次科技攻關(guān)中，北京北方微電子公司共申報(bào)并受理專利147項(xiàng)，其中發(fā)明專利135項(xiàng)，擁有軟件版權(quán)6項(xiàng)；注入機(jī)業(yè)主單位——北京中科信公司共申請了各項(xiàng)專利137項(xiàng)，已頒發(fā)受理通知書109項(xiàng)，其中核心發(fā)明專利26項(xiàng)。此次研發(fā)還在世界范圍內(nèi)組織了一批優(yōu)秀人才，建立了兩支具有國際水平的研發(fā)團(tuán)隊(duì)。培育了集成電路裝備的骨干企業(yè)，北京地區(qū)正在成為我國集成電路裝備制造業(yè)的龍頭。同時，12英寸的刻蝕機(jī)和離子注入機(jī)的研發(fā)也取得較大進(jìn)展，預(yù)計(jì)近期可進(jìn)行在線測試。

唐景庭說，國外每臺刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)的價(jià)格約300萬美元，一條完整的12英寸集成電路生產(chǎn)線設(shè)備完全進(jìn)口，需要投資10億美元左右，如果能夠采用國產(chǎn)設(shè)備，整線投資約可降低3億美元。由于芯片生產(chǎn)企業(yè)降低了生產(chǎn)成本，同時相應(yīng)的提高了制造芯片的水平，可導(dǎo)致企業(yè)產(chǎn)品的價(jià)格降低，使消費(fèi)者買到更便宜的、更先進(jìn)的電子產(chǎn)品。而且離子注入機(jī)整機(jī)國產(chǎn)化率已經(jīng)達(dá)到70％，生產(chǎn)商又是本土企業(yè)，相對于國外同類設(shè)備來說，其成本低廉，設(shè)備價(jià)格也要低得多。這樣，半導(dǎo)體制造商采購了國產(chǎn)設(shè)備，同時也獲得本土公司優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)，就會大大降低設(shè)備折舊和生產(chǎn)營運(yùn)成本，大大增強(qiáng)獲利能力。

訪談

政府組織協(xié)調(diào)保證重大科研攻關(guān)成功

中科院微電子研究所常務(wù)副所長葉甜春認(rèn)為，此次重大科研的成功，還體現(xiàn)了政府決策和協(xié)調(diào)在其中的重大作用。

2002年6月6日，當(dāng)時擔(dān)任北京市市長的劉淇陪同科技部部長徐冠華到北京市集成電路裝備骨干企業(yè)——北京建中機(jī)器廠(現(xiàn)為七星集團(tuán)公司)進(jìn)行考察。劉淇代表北京市政府表示，北京市將在國家科技部的支持下，大力發(fā)展集成電路裝備產(chǎn)業(yè)。隨后，該項(xiàng)目獲得批準(zhǔn)。在項(xiàng)目攻關(guān)過程中，國家科技部和北京市政府密切配合，確保專項(xiàng)資金及時到位。

北京市工業(yè)促進(jìn)局電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展處處長梁勝介紹說，這種重大項(xiàng)目在短時間內(nèi)完成，也是科研體制創(chuàng)新的體現(xiàn)。在重大項(xiàng)目的科研方面，過去是專家出題、做題和判題，現(xiàn)在是產(chǎn)業(yè)出題，企業(yè)組織專家做題，市場應(yīng)用判題。北京市政府不僅制定攻關(guān)目標(biāo)，而且積極跟蹤，針對開發(fā)過程中關(guān)鍵環(huán)節(jié)加大協(xié)調(diào)服務(wù)力度。為了該產(chǎn)品的研發(fā)和能夠在生產(chǎn)線上做實(shí)際驗(yàn)證，市工業(yè)促進(jìn)局多次組織與生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行協(xié)調(diào)，最終保證了產(chǎn)品的性能。