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產品介紹 白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術,是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數而設計的微納米測量系統,,為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應商,LPL友好俱樂部成員,清華大學,臺灣大學,首爾大學友好合作伙伴。 產品特點1、非接觸式測量:避免物件受損。
2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器:實現測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環控制系統。
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件:基于windows 操作系統的用戶界面,強大而快速的運算。
技術參數 機型
SIS 1200
工作臺
尺寸
250 mm×174 mm
傾斜度
±3 °
測量行程
X:150mm Y:100mm
Z軸行程
50mm
運動方式
手動
掃描速度
30μm/sec
垂直分辨率
0.1nm
CCD
黑白CCD, 640×480 像素
物鏡安裝架
手動導引五孔式
鏡頭選配
鏡頭:5×、10×、20×、50×
應用領域1、TFT產業
2、半導體
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
附件水準測量器、旋轉臺、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等 |
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